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작성일 : 25-08-05 15:41
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포토레지스트 처리용 UV 조사장치 문의
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글쓴이 :
박태영
 조회 : 32
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수고하십니다
부산대학교 기계공학부 김승호 교수님 연구실 박태영입니다
다름이 아니라 저희 연구실에서 포토레지스트 위에 마스크를 둔 상태로 UV 만 조사할 수 있는 장치를 찾다가 귀사의 장비를 발견하게 되어 문의를 드립니다
본 연구실에서는 100um 높이의 미세패턴 제작을 목적으로 하고 있으며 마스크 패턴 크기는 1um~1cm까지 다양하게 적용하고자 합니다.
이를 위해 소형 UV 조사장치를 찾고 있고 그러던 중 UVE-1001SD-DIC 모델을 발견하게 되었습니다. 해당 장비의 규격과 견적서를 의뢰드립니다
감사합니다
박태영 드림
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